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金融界 2025 年 4 月 25 日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“Ru 薄膜沉积工艺”的专利，公开号 CNA，申请日期为 2025 年 2 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种 Ru 薄膜沉积工艺，涉及半导体技术领域。本申请的 Ru 薄膜沉积工艺中，利用金属有机化合物前体材料在硅基衬底的表面沉积形成金属有机化合物层，由于金属有机化合物前体材料很容易与硅基衬底形成物理吸附，二者之间结合力较佳。同时，金属有机化合物层中的有机基团也与后续制作 Ru 薄膜所用到的 Ru 前驱体容易结合，因此金属有机化合物层起到中介层的作用，使得 Ru 前驱体在衬底上的吸附密度增加，从而能够提升成核密度。在较高的成核密度下，成核效率得以提高，从而能够减少原子层沉积工艺沉积 Ru 薄膜的总循环数。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息479条，此外企业还拥有行政许可56个。
本文源自金融界
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