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- Up Time：可生产时间比例
- Down Time：不可生产时间比例
- WPH（Wafer per hour）：每小时产出
- EFF（Efficiency）：生产效率
- WPD（Wafer per day）：每天产出数
- Loss Time：IDLE时间控制
- DPML（Day per mask layer）：一个光刻层过货时间
- Cycle Time：过站花费时间
- Capability：工艺族群（Recipe Group）
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